◆ 松山湖材料实验室光子制造团队负责人
◆ 中国科学院西安光机所光子制造系统与应用研究中心主任
◆ 中国科学院特聘研究员、瞬态国家重点实验室特聘研究员
超快激光光极端制造技术,光束控制技术,空间光调制技术,激光与材料作用机理等技术在超快激光微加工系统中的应用
◆ 国家科技奖励库“发动机专项”专家
◆ 陕西省科技创业人才
◆ 入选中国科学院“王宽诚率先人才”计划
团队负责人:杨小君(团队负责人)
团队成员:尹怀东、王海龙、赵卫、王婷、周兆钊、杨涛、李铁、宋昶、李星谕、丁阳、宋振中
光子制造团队为实验室首批入驻团队,技术来源于中科院西安光机所,掌握业界领先的复合光束扫描模块、三维曲面自适应定位、背伤保护等一批核心技术。针松山湖材料实验室光子制造团队及产业化公司中科羲和(广东)科技有限公司长期从事并开展超快激光产生理论与技术、光与物质相互作用的超快现象研究的科研团队,在空天领域,率先研制出适用于空天推进系统超精细加工的激光精密加工装备。在光伏领域,光子团队与中科羲和公司联合开展“光与物质相互作用机理研究”、“高速轨迹可控光束分光扫描模块”、“高功率飞秒激光器”等技术研究,形成GW级激光划刻设备、GW级激光清边设备、MW级激光退火设备等一批面向光伏行业的超精密加工装备。
二期面向国民经济主战场,聚焦于钙钛矿电池领域开展激光装备及产线的研发及产业化。
产业化公司
一、广东中科微精光子制造科技有限公司
2019年,12月注册成立;
2023年12月,广东省专精特新中小企业;
专注于激光微加工装备的研发、生产和销售,致力于在电子陶瓷、PCB、FPC、精密制孔等领域为客户提供卓越的激光微加工解决方案。
二、中科羲和(广东)科技有限公司
2024年4月注册成立;
深耕太阳能光伏电池装备领域,坚持长期主义,充分发挥院所孵化企业优势,致力于成为世界先进的新能源装备服务提供商、系统解决方案集成商。
(一)成功搭建300mm钙钛矿电池示范线——钙钛矿产学研合作示范平台
光子制造团队及中科羲和联合,成功搭建300mm钙钛矿电池示范线——钙钛矿产学研合作示范平台,拥有激光、涂布、ALD、PVD、蒸镀等核心工艺设备12台,并面向高校、院所科研人员提供免费开放(装备使用免费、部分材料免费、基础工艺免费、培训免费)的300mm钙钛矿电池示范平台;面向装备、材料企业提供新技术可行性验证、工艺效果对比平台(如:利用脉冲激光实现钙钛矿层退火结晶的可行性)。
该示范线具有以下能力及特点:
◆ 具备装备开发、验证能力:激光类设备依托光子团队开发,技术来源于中科院西光所,PVD设备的电源依托于等离子体放电团队开发,技术来源于哈工大。在钙钛矿电池制备装备仍然需要升级的前提下,未来可依托线体开发和验证,如激光退火、激光封装、激光膜厚无损检测、喷墨打印等新技术、新装备
◆ 工艺兼容性高:可兼容干湿法工艺,后期会逐步配备叠层工艺所需要的装备,实现叠层工艺兼容
◆ 材料表征、器件检测配套齐全:依托平台15亿设备,面向钙钛矿SEM、TEM、FIB、台阶仪、膜厚检测仪、共聚焦等设备,可以实现材料随制备随表征。
作为松山湖首个钙钛矿项目,此示范线将对松山湖发展钙钛矿技术起到奠基作用,以免费示范线体为纽带,推动大湾区钙钛矿产学研生态协同,实现材料、
工艺、装备多方共赢,并一定程度上为科研院所公共技术服务平台提出新的“平台+”运营参考模式。
(二)设备展示
1、300mm×300mm钙钛矿激光划线设备
设备专为钙钦矿太阳能电池的高效线划刻而设计,由产业化公司中科羲和(广东)科技有限公司提供设备,已批量出货,可销售。
2、产业级装备——MW/GWP1 P2 P3激光划线装备
3、2400mm×1200mm钙钛矿激光划线设备
面向产业开发米级MW/GW Pl/P2/P3/P4激光划刻装备,率先开发并应用行业领先的 SLM分光技术、自动跟随、自动对焦、自动监测技术。