科研进展丨全透明柔性二维晶体管
柔性电子技术是驱动可穿戴设备、柔性显示、智能传感及医疗监测等前沿领域的核心支撑技术,兼具透明性与柔性的场效应晶体管是其中的关键功能单元。然而,传统二维材料柔性晶体管受限于工艺与电极材料的固有缺陷,长期面临性能显著低于刚性器件、可见光透过率不足、弯折过程中易出现结构损伤与性能退化等问题,制约其实际应用与产业化进程。具体而言,金属电极虽导电性优异,但存在不透明、机械延展性差等局限,弯折过程中易产生裂纹与界面剥离;石墨烯透明电极则面临高质量薄膜制备成本高、规模化生产难度大、器件电学性能不足等挑战。

近日,松山湖材料实验室新型光电功能材料与器件团队联合广州大学、中山大学等单位在二维材料柔性电子器件领域取得重要进展,相关研究成果以“Fully transparent flexible 2D molybdenum disulfide transistors”为题发表研究性论文(Materials Science & Engineering R 169 (2026) 101198),开发了基于聚(3,4-乙烯二氧噻吩):聚(4-苯乙烯磺酸盐)(PEDOT:PSS)范德华电极的全透明柔性二硫化钼(MoS2)场效应晶体管(FET)。该器件兼具高电子迁移率、高可见光透过率与优异的机械柔性,有效克服了传统柔性二维晶体管性能衰减、透光性不足及机械可靠性差等关键瓶颈,为下一代透明柔性电子器件的发展提供了新思路。
研究团队采用光刻工艺制备PEDOT:PSS聚合物电极,并通过范德华转移法与二维MoS2半导体构建异质集成,实现了高性能晶体管器件的制备。PEDOT:PSS作为一种导电聚合物,天然具备高可见光透过率、优异机械柔性与低温溶液可加工性。研究团队进一步通过酸处理工艺对其进行精准调控,实现了功函数在3.28 eV至5.08 eV范围内的连续可调,显著优化了其与MoS2的能级匹配与界面接触特性。

图1. 面向二维晶体管范德华接触的功函数可调控PEDOT:PSS电极
实验测试结果表明,该柔性MoS2晶体管展现出优异的电学性能:电子迁移率达154 ± 20.4 cm2 V-1 s-1,与其刚性对照器件(155 ± 15.9 cm2 V-1 s-1)基本相当,突破了柔性器件性能必然劣于刚性器件的传统认知。在光学性能方面,该晶体管在可见光波段(400-700 nm)的平均透过率为71%,实现了高透明性与高电学性能的协同优化。此外,器件的肖特基势垒高度低至26 meV,接触电阻仅为5.2 kΩ·μm,开关电流比超过107,核心电学指标均处于国际领先水平。

图2. 基于PEDOT:PSS电极的MoS2晶体管电学特性表征

图3. PEDOT:PSS电极与MoS2接触特性的多维度表征
为揭示器件高性能的内在物理机制,研究团队综合运用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱、光致发光光谱等表征手段,结合密度泛函理论(DFT)计算,对PEDOT:PSS/MoS2界面进行了系统解析。研究表明:PEDOT:PSS与MoS2之间形成紧密的范德华接触,无明显界面间隙,有效降低了接触电阻;二者间存在显著的电荷转移效应,协同功函数的精准调控,大幅降低了肖特基势垒,实现了高效的载流子注入。同时,酸处理诱导PEDOT:PSS发生相分离与分子构象转变,进一步提升了其本征导电性及与MoS2的界面相容性,从多维度推动了器件性能提升。

图4. PEDOT:PSS/MoS2接触的DFT计算
在机械可靠性测试中,该全透明柔性晶体管表现出优异的抗弯折性能与结构稳定性。在1 mm的极小弯折半径下,其核心电学性能无明显衰减;经20,000次循环弯折测试后,电子迁移率波动小于10%,开关电流比仍维持在106以上,性能显著优于现有柔性MoS2晶体管,满足实际应用中的复杂机械形变需求。此外,该器件在室温大气环境下可稳定工作8.5个月,展现出良好的环境稳定性。

图5. 基于PEDOT:PSS范德华电极的全透明柔性二维晶体管
相较于传统制备工艺,该研究采用的光刻PEDOT:PSS电极技术兼具高精度与可调控性,且全程基于低温溶液法与范德华集成工艺,避免了传统金属电极沉积过程中高能粒子/高温对二维材料的损伤,同时兼容卷对卷等规模化柔性制备技术,具备良好的产业化潜力。研究团队指出,未来可通过在PEDOT:PSS中引入导电掺杂剂进一步增加功函数可调控范围,持续挖掘器件性能优化空间。
此项研究首次将高分辨率光刻PEDOT:PSS聚合物电极与二维MoS2成功集成,实现了高性能全透明柔性晶体管的制备,突破了传统电极材料在透明柔性电子器件中的应用局限,为有机导电聚合物与二维半导体的异质集成提供了新范式。该技术兼具高透光率、高电子迁移率、优异机械柔性与可规模化制备等多重优势,有望在柔性显示、可穿戴智能传感器、透明电子皮肤及柔性医疗监测设备等领域实现广泛应用,助力新一代透明柔性电子产业向轻量化、柔性化、透明化方向发展。
该论文中,通讯作者为松山湖材料实验室林生晃研究员、崔楠副研究员、广州大学潘书生教授及松山湖材料实验室/中国科学院物理研究所张广宇研究员。研究工作得到了国家自然科学基金(62204165)、国家重点研发计划(2021YFA1202902)、广东省基础与应用基础研究基金(2021B1515120034)项目的资助。
文章链接
https://doi.org/10.1016/j.mser.2026.101198
